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2021年技术攻关面上项目（装备处）-重2021156 多模微波等离子体沉积设备关键技术研发
发布时间：2020-09-27内容编辑：宇辰管理
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一、领域： 八、先进制造与自动化--（三）高性能、智能化仪器仪表
二、主要研发内容
（一）大功率微波传输通道及微波谐振腔模拟建模；
（二）大功率微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备的微波系统设计及实现；
（三）大功率MPCVD设备的散热系统设计及实现；
（四）大面积多晶金刚石膜沉积工艺研发。
三、项目考核指标（项目执行期内）
（一）经济指标：实现销售收入≥1000万元。
（二）学术指标：申请专利≥2件，其中发明专利≥1件。
（三）技术指标：
1. 微波源频率： MHz，功率≥ kW，设备连续无故障运行时间≥ 天；
2. 制备自支撑金刚石厚膜，最大样品尺寸≥ 英寸，膜厚≥ mm；
3. 制备大尺寸光学级金刚石窗口，最大样品尺寸≥ 英寸，在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内透过率≥ %。
四、项目实施期限： 2年
五、资助金额： 不超过200万元
受理时间：2020年9月27日-2020年10月26日（截止24:00）。
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